Temperatur an Fiichtegkeet Sensor fir Semiconductor Clean Sall Temperatur Fiichtegkeet Kontroll Schema
Produit Show
D'TemperaturanFiichtegkeet vu propperem Raum gëtt haaptsächlech no de Prozessfuerderunge festgeluegt, awer ënner der Bedingung fir de Prozessfuerderunge gerecht ze ginn, sollt de Sënn vu Komfort berücksichtegt ginn.Mat der Verbesserung vun den Ufuerderunge vun der Loftreinigkeit gouf et en Trend vu méi a méi streng Ufuerderunge fir Temperatur a Fiichtegkeet.
Wéi d'Veraarbechtungsgenauegkeet ëmmer méi fein ass, sou datt d'Temperaturfluktuatiounsberäich manner a manner ass.Zum Beispill, am lithographesche Beliichtungsprozess vun der grousser integréierter Circuitproduktioun, ass den Ënnerscheed vum thermesche Expansiounskoeffizient tëscht Glas a Siliziumwafer als Maskmaterial erfuerderlech méi kleng a méi kleng ze sinn.Duerchmiesser 100 um Silicon Wafer, Temperaturerhéijung 1 Grad, wäert 0.24um linear Expansioun verursaachen, sou datt et eng Temperatur vun ± 0.1 Grad muss sinn, gläichzäiteg ass d'Fiichtegkeetswäert allgemeng niddereg, well d'Leit Schweessen, de Produit wäert Pollutioun hunn, besonnesch Angscht vun Natrium semiconductor Atelier, dësem Workshop soll net däerfte 25 Grad.
Héich Fiichtegkeet verursaacht méi Probleemer.Wann d'relativ Fiichtegkeet méi wéi 55% iwwerschreift, da gëtt d'Tau op der Mauer vum Killwasserleitung geformt, wat verschidden Accidenter verursaachen wann et an Präzisiounsapparater oder Circuiten geschitt.Wann d'relativ Fiichtegkeet 50% ass, ass et einfach ze rustéieren.Zousätzlech, wann d'Feuchtigkeit ze héich ass, gëtt de Stëbs, deen op d'Uewerfläch vum Siliziumchip hänke bliwwen ass, chemesch op der Uewerfläch adsorbéiert fir d'Entfernung ze widderstoen.Wat méi héich ass d'relativ Fiichtegkeet, d'Haftung ass schwéier ze entfernen, awer wann d'relativ Fiichtegkeet manner wéi 30% ass, sinn d'Partikelen einfach op der Uewerfläch ze adsorbéieren wéinst der Handlung vun der elektrostatescher Kraaft, an eng grouss Zuel vu Hallefleitgeräter sinn ufälleg fir Decompte.Déi optimal Temperaturbereich fir Waferproduktioun ass 35-45%.
Dofir ass d'Kontroll vun Temperatur a Fiichtegkeet besonnesch wichteg, HENGKO kann Iech eng Rei vuTemperatur- a Fiichtegkeet Sender personaliséiert Veraarbechtungsléisungen!
Temperatur an Fiichtegkeet Sensor fir Semiconductor Clean Sall Temperatur Fiichtegkeet Kontroll Schema
Kënnt Dir kee Produkt fannen deen Äre Besoinen entsprécht?Kontaktéiert eis Verkeefer Personal firOEM / ODM Personnalisatioun Servicer! 
